越打压发展越快。自2018年美国向中国发起科技战后,我国晶圆制造设备反而加速成长。

2023年8月10日,中国电子专用设备工业协会常务副秘书长金存忠在第11届半导体设备材料与核心部件展示会上,做了《2022年中国半导体设备行业经济运行基本情况》的报告。该协会对中国大陆77家主要半导体设备制造企业(年销售收入1000万元以上)的统计显示,2022年我国半导体(统计口径:泛半导体)设备实现销售收入593亿元,同比增长53.6%;出口交货值70.8%,同比增长119.2%;总利润149.5亿元,同比增长66.1%。其中,集成电路设备实现销售收入319亿元,晶硅太阳能电池片设备228.3亿元,发光二极管设备30.7亿元,同比分别增长86.1%、31.4%和61%。

美国等发起的集成电路设备出口管制给国产集成电路设备带来了发展机遇,加快了相关设备验证和采购步伐。一大批自主研发的关键半导体设备和核心部件进入量产生产线,提高了国产市场竞争力。由于快速发展,去年晶圆设备在半导体设备中的占比首次超过一半。

1691671552904

由于中国半导体国产化加速,2022年,13类主要半导体设备中国大陆进口额同比减少8.1%。其中,进口额前三的等离子体干法刻蚀机、化学气相沉积设备、氧化、扩散、退火及其他热处理炉进口额分别减少12.7%、11.9%和9.6%;而封测设备中的引线键合机和塑封压机分别减少42%和22%。