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New Page 1 国家发展改革委批准《导电用铜棒》等137项行业标准(标准编号、名称及实施日期见附件),其中有色金属行业标准97项、纺织行业标准28项、制药装备行业标准12项,现予公布。
2024年1月6日,宁波江丰电子材料股份有限公司申请一项名为“一种陶瓷靶材用背板的氧化锆涂层及其制备方法和应用“,公开号CN117344263A,申请日期为2023年10月。本发明提供一种陶瓷靶材用背板的氧化锆涂层及其制备方法和应用,所述制备方法包括以下步骤:(1)将背板的非喷涂区域进行覆盖保护,并对喷涂区域进行冷喷砂处理;(2)对冷喷砂处理后的背板的非喷涂区域进行覆盖保护,并进行预热;(3)采用等离子喷涂工艺对所述喷涂区域进行氧化锆喷涂,得到氧化锆涂层。本发明采用等离子喷涂法制备了一种陶瓷靶材用背板的氧化锆涂层,该氧化锆涂层的致密度≥95%,纯度≥99.95%,微观均匀致密,绝缘性能优良,能够有效得对靶材及背板进行保护。
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