日本精工研制开发出“真空清洁n系列薄壁轴承”，应用于半导体制造装置的真空搬运机器人。n系列薄壁轴承的研制开发，进一步扩大了特殊应用环境轴承产品系列。
    该产品用于真空搬送机器人的躯体以及手臂关节部位，其特点一是通过改良润滑剂（v－dfo）实现了挥发气体比封入高真空润滑油的商品低三分之一以下、持久性比氟化乙烯树脂被膜商品提高20倍；二是采用低排气量、耐高温树脂保持架，消除了以前由于金属保持架磨损所产生的润滑剂的劣化；三是采用耐久性高的氮化硅滚珠，提高了薄膜润滑下的耐久性；四是内、外轮采用nsk独自开发的不锈钢，和以前相比具有10倍的耐腐蚀性。
    日本精工预定首先从4点接触球轴承nbx型（2005年3月末）系列化生产该产品，然后是角接触球轴承nba型。生产规格为内径25mm～210mm，滚沟尺寸4、6、7mm三种。